خط تولید سلیکون متال - ایران صنعت
این روش داراي 3 مرحله مختلف به شرح زیر است: (TCS) -1 تولید تري کلرو سیلان از سیلیکون متال. این مرحله در رآکتور هاي TCS انجام شده و محصول نهایی فرآیند، تري کلروسیلان می باشد. -2 تخلیص تري کلرو سیلان، که طی آن. TCS تولیدي تحت فرآیند تخلیص و تقطیر، به TCS خالص تبدیل می گردد. -3 احیاء TCS به ...